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新型激光比长仪实现激光干涉仪动态高精度校准。
据中国计量院孙双花副研究员介绍，装置借鉴了中国计量院“激光干涉比长仪线纹工作基准”的精密激光干涉测长、高精度光电显微镜动态瞄准、精密气浮控制等关键技术，可以实现线纹尺、激光干涉仪及位移传感器等的动态高精度校准。装置主体采用天然花岗岩结构，基于变形分析和建模进行了精心设计，床身尺寸3.4m×1m×0.7m，整体重达9吨，导轨直线度实测优于1μm/m，可有效避免移动工作台运动导致的机械变形，抗震性能好，长期稳定性优。此外，显微镜工作距离达到28mm，适用于各种厚度的线纹尺刻线面朝向物镜或背向物镜检测，线纹尺校准与其使用状态一致，保障了量值传递的精度和可靠性。
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